當前位置：

可編程直流電源15-35KW

安全可靠的高功率密度可編程 : 從2kW, 4kW, 6kW, 8kW, 10kW, 15kW, 30kW, 45KW -3U/6U/9U-更高機柜標準裝機尺寸寬輸出電壓、電流范圍 : 0 ~10000 Vdc 和 0 ~ 9000Adc以標準的寬輸入電壓、頻率范圍 : 從 208 Vac ~ 480 Vac 、頻率50 Hz~400 Hz可選全支持風冷隨負載智能而變：閑置模式風冷智能關閉或強制風冷及可選定制水冷WC選件高精度的可編程和監測：± 0.07

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產品詳情

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DC Series III

1 kW,2kW,4kW,6kW,8kW,10kW,15kW,

30kW,45kW,100kW,250kW可編程直流電源

主要特點

安全可靠的高功率密度可編程 : 從2kW, 4kW, 6kW, 8kW, 10kW, 15kW, 30kW, 45KW -3U/6U/9U-更高機柜標準裝機尺寸

寬輸出電壓、電流范圍 : 0 ~10000 Vdc 和 0 ~ 9000Adc

以標準的寬輸入電壓、頻率范圍 : 從 208 Vac ~ 480 Vac 、頻率50 Hz~400 Hz可選

全支持風冷隨負載智能而變：閑置模式風冷智能關閉或強制風冷及可選定制水冷WC選件

高精度的可編程和監測：± 0.075%&0.1% 穩定度

穩壓精度：± 0.1%

穩流精度：± 0.2%

高效率：高達88%滿載

I/O標準通訊接口：MU37針電路標準的光隔離的用戶I / O界面，無需額外的隔離電路

高效率的運作：三相輸入時高達92％的效率在滿載情況下

標配RS485 / RS232接口標配（標準SCIPI命令）
可選GPIB，USB接口

可選以太網LAN接口（LXI-certified Ethernet communications）: 內嵌web-server

可選CAN/LIN總線接口（LXI-certified Can /LIN Bus communications）

過壓過流保護關閉標準(OCT&OVT STD): 過壓保護和過流保護機械接觸器高速斷開主輸入

驅動程序：多種可視化編程應用可支持Labview, Labwindows/CVI,IVI驅動等

可編程輸出模組：具有選擇數字鍵盤和仿真自定義電源文件

自動變向控制技術：電流和電壓交越轉換

前面板計量校準：多功能旋鈕，界面簡潔、顯示清晰

可回饋電網選件（PCAG):

電能可回饋（Power Cycle AC Grid），自動諧波消除平衡系統，產生(6n±1)-12/18/24/48個脈沖高級的回饋電網技術

應用：電力電子，汽車ISO7637，ISO16750,機車軌道交通，航空航天電推進，電機驅動，激光驅動，電離，等離子鍍膜陰極和陽極，光伏電池模擬，電池，電容，電解，電纜和高壓照明，超導材料

創新的和可擴展性能

創新的和可擴展性能 Innovative and Scalable

DC系列電源，其創新性的設計了微處理器技術、32bit,100MHz高速時鐘，512KB寫入存儲，嵌入式技術控制（microprocessor embedded control）可編程直流電源。電源管理技術的電路創新研制和工藝技術提高了響應速度和功率密度，縮小封裝尺寸，并降低成本。 DC系列電源可饋電流（Current-Fed）的堅實技術，其兼容性，更耐受各種復雜的負荷、性能遠遠優于傳統開關電源用品。這項技術使電源堅固的操作在短路情況下、開路的條件下，以及在短路和開路運行之間的所有可能的復雜情況。

DC系列電源提供兩個主從（master/slave）機型，并行和串行系列操作（parallel and series）。這能使兩個或兩個以上的電源供應器具有被放置在并行增加輸出電流或串行增加輸出電壓的狀態控制技術。主從操作下，功率輸出堅實的提供電壓或電流，近等于設置輸出電壓和電流之乘積。DC系列電源可以作為一個電壓源或電流源（voltage source or current source），依賴其控制設置和負載的條件下。如果電源運行作為電壓源，負載增大，提高到一個超越當前點命令設置，電源會自動跨越到電流模式控制，可以作為恒壓源和電流源工作，并有獨特的上升時間和下降時間高速可編程功能，以及校準每個電源和電流值等于負載端值。

重視電能質量 Attention to Power Quality

DC系列電源供應器擁有遏制電路并能和諧工作于其他電力設備群。分級開始啟動的接觸器系統有效的抑制浪涌電流低于滿負荷刻度下運行，濾波器元件設計的應用使電流諧波含量更低，得以使電能可靠和提高功率因數的水平超過90％。每個電源供應器測試驗證，在90％至125％的正常線電壓條件下，即使在最壞的線電壓條件也得以驗證確保其令人滿意的運作。

為安全而設計 Design for Safety

DC系列電源供應器擁有擴展自動診斷功能，所有這一切，命令自動關閉系統。診斷功能包括：缺相，過熱條件，母線電壓，過壓設置，保護設置，過壓跳閘，過流跳閘，斷路器跳閘和程序運行。程序運行顯示器擴展應用模擬設定點信號，以確保他們是在指定的范圍內。經診斷故障條件下，主電源斷開和診斷狀態被鎖存到內存中。

可靠而精湛控制技術 Reliable Control Technology

為自動化而設計隔離擴展外部I/O Isolated External I/O for Automation

使用后背面板可選的MU37-pin I/O接頭和外部信號，可完全控制并監測DC系列電源。其電壓、電流、過電壓觸發、過電流觸發設定點，可由輸入0-10Vdc的模擬信號來設定。每一個觸發診斷條件測試皆會設定一針腳位，在高電位時讀取5Vdc。同時，電源也內建聯鎖(Interlock)功能，是可外部多臺連接的Interlock連接端口，當連接其他緊急停止裝置并結合啟動該功能時，如增加急停開關，可停止發生的緊急事件。所有這些I/0腳位皆依照標準單獨接地即隔離電源地（Earth-Ground），不必加裝額外的隔離電路。

遠程界面軟件 DC Power Programmable Software (DPPS)+Wave Generator

遠程控制界面軟件隨DC系列電源產品一起作為標準配置。這個遠程軟件可以提供給使用者一個更簡易的編程和順心的操作電源方法。DC全系列的電源標準版軟件具有電壓和電流顯示界面，和曲線記錄V-T,I-T,P-T,V-I，完美的詮釋了電源設置的工作曲線軌跡；控制界面，可使用鍵盤設置輸出電壓值，設置電流值，恒壓和恒流模式，過壓保護值，過流保護值，數據采樣間隔和數據保存目錄地址；可選的+Wave Generator波形發生器界面，可以單步仿真V-I-T波形，也可以多步，及循環自定義仿真波形。可基于示波器，波形記錄儀故障現場采集回來V-I-T數據，也可以在實驗室在線大功率仿真再現現場故障，或編輯更嚴苛的數據仿真模擬各種自定義標準波形。

安裝于電腦的可擴展遠程軟件有6個可切換的可選菜單簡潔英文界面：

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虛擬仿真控制前面板（Virtual Control Panel）可真實仿效電源的前面板，指令面板（Command Panel）可編程和可讀SCIPI指令具有友好易懂的使用按鈕，登記面板（Register Panel）可編程和可讀電源的注冊信息情況，校準面板（Calibration Panel) 可啟用數字電位表進行校準，韌體面板（Firmware Panel）可更新存儲在電源內部存儲器里的程序，模塊化面板（Modulation Panel）可舒適的調變電源參數輕松編程模擬電源真實的變換條件。

功率源仿真模擬 Power Source Emulation

輸出模塊化使DC系列的電源可以仿真模擬出用戶自己需要定義的功率源。諸如：動力燃料電池、太陽能矩陣電池板、醫療設備、各種鉛酸或鋰固電池等等。電源依隨I-V曲線編程使用遠程軟件及PVPE或從模塊化面板（Modulation Panel）可舒適的調變電源參數輕松編程模擬電源真實的變換條件，Labview 具有美感國家儀器（NI）公司認證的驅動（Labview driver），或通過其他編程方式諸如SCIPI指令進行編程。

嵌入以太網通訊功能-LXI工業標準兼容認證 LXI-Compliant Embedded Ethernet

LXI是基于工業標準以太網的技術而設計的儀器化平臺，目標是優化設計提供模塊化、靈適性及高執行性給小型和中型尺寸的網絡通信控制系統。LXI的優勢在于其精簡例證抗干擾性、柔性的封裝技術提供著高速可靠的輸入和輸出的數據測量功能。這些特征符合了電子、制造、研發、工程師的需要，他們電子、航空、航天、汽車工業及醫療產品行業的測試市場標準化的需求。

LXI 認證標準 Class C, DC系列電源的以太網選件包括一個內建的網絡服務器，運行虛擬終端時允許網絡瀏覽器隨時隨地控制和監控電源的運行。

Models and Ratings 型號和指標

15-35KW 機型 19”寬6U高標準機架尺寸

15 kW Models 模組型號
Model型號	Voltage電壓(Vdc)	Current電流(Adc)	Ripple紋波(mVrms)	Eff.效率 %	Input Current (Aac)輸入電流
Model型號	Voltage電壓(Vdc)	Current電流(Adc)	Ripple紋波(mVrms)	Eff.效率 %	208/240V3Φ	380/415V3Φ	440/480V3Φ
DC5-3000	5	3000	50	86	55	32	26
DC10-1500	10	1500	50	86	55	32	26
DC20-750	20	750	60	86	55	32	26
DC32-468	32	468	60	86	55	32	26
DC40-375	40	375	60	86	55	32	26
DC50-300	50	300	70	87	55	32	26
DC80-187	80	187	80	87	55	32	26
DC100-150	100	150	80	87	55	32	26
DC125-120	125	120	120	87	55	32	26
DC160-93	160	93	125	87	55	32	26
DC200-75	200	75	120	87	55	32	26
DC250-60	250	60	140	87	55	32	26
DC375-40	375	40	200	88	55	32	26
DC400-37.5	400	37.5	220	88	55	32	26
DC500-30	500	30	240	88	55	32	26
DC600-25	600	25	280	88	28	17	15
DC800-18.8	800	18.8	420	88	55	32	26
DC1000-15	1000	15	680	88	55	32	26
DC1200-12	1200	12	750	88	55	32	26
DC1500-10	1500	10	800	88	55	32	26
DC2000-7.5	2000	7.5	1200	88	55	32	26
DC3000-5	3000	5	1500	88	55	32	26
DC4000-3.7	4000	3.7	2000	88	55	32	26
DC6000-2.5	6000	2.5	2500	88	55	32	26
DC8000-1.8	8000	1.8	4000	88	55	32	26
DC10K-1.5	10000	1.5	4000	88	55	32	26

30 kW Models 模組型號
Model型號	Voltage電壓(Vdc)	Current電流(Adc)	Ripple紋波(mVrms)	Eff.效率 %	Input Current (Aac)輸入電流
Model型號	Voltage電壓(Vdc)	Current電流(Adc)	Ripple紋波(mVrms)	Eff.效率 %	208/240V3Φ	380/415V3Φ	440/480V3Φ
DC5-6000	5	6000	50	86	108	60	54
DC10-3000	10	3000	40	86	108	60	54
DC16-1875	16	1875	35	86	108	60	54
DC20-1500	20	1500	40	86	108	60	54
DC32-937	32	937	40	86	108	60	54
DC40-750	40	750	40	87	108	60	54
DC50-600	50	600	50	87	108	60	54
DC80-375	80	375	60	87	108	60	54
DC100-300	100	300	60	87	108	60	54
DC125-240	125	240	100	87	108	60	54
DC160-188	160	188	120	87	108	60	54
DC200-150	200	150	125	87	108	60	54
DC250-120	250	120	130	88	108	60	54
DC375-80	375	80	170	88	108	60	54
DC400-75	400	75	180	88	108	60	54
DC500-60	500	60	220	88	108	60	54
DC600-50	600	50	250	88	108	60	54
DC800-37	800	37	420	88	108	60	54
DC1000-30	1000	30	680	88	108	60	54
DC1200-25	1200	25	750	88	108	60	54
DC1500-20	1500	20	800	88	108	60	54
DC2000-15	2000	15	1200	88	108	60	54
DC3000-10	3000	10	1500	88	108	60	54
DC4000-7	4000	7	2000	88	108	60	54
DC6000-5	6000	5	2500	88	108	60	54
DC8000-4	8000	4	4000	88	108	60	54
DC10K-3	10000	3	4000	88	108	60	54

Specifications 詳細指標

Options選件
Code代碼	Title Option選件名稱
+LXI	LXI TCP/IP Ethernet Interface (Internal) LXI TCP/IP以太網通信輸入端
+GPIB	IEEE 488.2 GPIB Interface (Internal) GPIB通信輸入端
+USB	USB Interface (External) USB通信輸入端
+RS485	RS-485 Interface (External) RS-485通信輸入端
+RS232	RS-232 Interface (External) RS-232通信輸入端
+HS	High Slew Rate Output 高速率響應輸出
+WC	Water cooling loop option 水冷選件
+BC10	Universal Interface Device BC10并串聯通信端
+EMI	EMI Filter EMI濾波器
+ISO	High Isolation Output高絕緣輸出
+SP	208/240 Vac single-phase input (1-6 kW) 單相輸入
Input輸入
Nominal Voltage 3 phase, 3 wire + ground標稱3相電壓，3線加接地	380 VAC 3? (工作電壓范圍 342 - 418 VAC) 415 VAC 3? (工作電壓范圍 373 - 456 VAC) 440 VAC 3? (工作電壓范圍 396 - 484 VAC) 480 VAC 3? (工作電壓范圍432 - 528 VAC)




1 phase, 2 wire + ground(2KW models only)單相，2線加接地適用于2KW功率模組	208 VAC 1? (工作電壓范圍187 - 229 VAC) 240 VAC 1? (工作電壓范圍216 - 264 VAC)

Frequency 頻率	50 Hz -400Hz (工作電壓范圍45-440 Hz)
Power Factor功率因素	高于 92% 在最大功率

Output 輸出
Ripple 紋波	See Model Chart DC 參閱DC指標圖表, 增加RC在輸出端測試@20MHz ac coupe。
Line Regulation 線性調整率	電壓模式: ± 0.004% 的滿量程電流模式: ± 0.02%的滿量程
Load Regulation負載調整率	電壓模式: ± 0.01%的滿量程電流模式: ± 0.04%的滿量程

Load Transient Response負荷瞬態響應	2ms恢復±1% 輸出的調整范圍內, 具有從 50% to 100% 或 100% to 50%階躍負載變化

Efficiency效率	≥ 86% 滿負荷 (見型號表)
Stability穩定度	± 0.10% 于8小時. 30分鐘溫升后
Isolation絕緣安全	用戶輸入和輸出: 參考為大地和電路地. 最大輸入電壓對地：±2500 Vac 最大輸出電壓對地：±1000 Vdc （高絕緣到±(2000 Vdc + Vo/2選件)
Maximum Slew Rate最大響應速率	Standard Models:標準模組 100 ms 對于輸出電壓變化率從 0 to 63%, 100 ms 對于輸出電流變化率從 0 to 63%. With High Slew Rate Option:高速選項 4 ms對于輸出電壓變化率從0 to 63%, 8 ms對于輸出電流變化率從0 to 63%. With Rate High Slew Rate Option:可變高速選項 10 ms-1000s對于輸出電壓變化率從0 to 100%,






Bandwith帶寬響應	Standard Models:標準模組 3 Hz 具有遠程模擬電壓可編程， 2 Hz具有遠程模擬電流可編程. With High Slew Rate Option:高速響應選項 60 Hz具有遠程模擬電壓可編程, 45 Hz 具有遠程模擬電流可編程.





Analog Output Impedances模擬輸出阻抗	電壓輸出監視: 100 ohm, 電流輸出監視: 100 ohm, +10V 參考電壓下: 1 ohm.


Environmental 環境
Operating Temperature 工作溫度	0 °C to 50 °C
Storage Temperature 存儲溫度	-25 °C to 85 °C
Ambient Temperature 環境溫度	0 to 50 °C
Temperature Coefficient溫度系數	0.04 % / °C 在最大輸出電壓下, 0.06 % / °C在最大輸出電流下.

Air Cooling 空氣冷卻	Slid air inlet, rear exhaust 后面板散熱，空氣滑入式冷卻
Control Limited DC 通信控制范圍-DC
Remote Sense Limited DC 遠程感應	3% 最大電壓跌落從輸出到負載 (3%遠程感應于輸出≤ 1000 Vdc的模組)

Period Programming Limited DC可編程周期	最小周期: 10 msec 最大周期: 9997 sec or 2.77 hours

Digital control input and output limits數字控制I/O范圍	輸入電壓: 0 to 5 V 輸入電壓: 0 to 5 V, 5 mA 驅動能力

注：指標改變恕不通知。于3相配置指標為L-L電壓。除非另行通知或備注，輸入電壓和電流值定為三相配置。

Model Ordering System 模組訂購系統
Series Name系列名稱	Front Panel前面板		OutputVoltage輸出電壓	OutputCurrent輸出電流	InputVoltage輸入電壓			Option Code(s)選件代碼
DC	Standard Computer Blank:C		See Tables	See Tables	208 SP 240 SP 208 240 380 415 440 480			+LXI +GPIB +USB +RS485 +HS +BC10 +EMI +WC +SP









Physical物理參數
Power (kW)功率		Input Phases 輸入相	*Size (H” x W” x D”)尺寸（高寬深）*			Rack Unit機箱	Weight重量
1-6 kW 10 kW 15kW 20 kW 30KW 45KW 60KW 75-150KW		1? 3? 3? 3?	5.25 x 19 x 24 in (13.3 x 48.3 x 61.0 cm) 5.25 x 19 x 24 in (13.3 x 48.3 x 61.0 cm) 6.99 x 19 x 24 in (26.08 x 48.3 x 61.0 cm) 6.99x 19 x 24 in (26.08 x 48.3 x 61.0 cm) 15.75 x 19 x 24 in (40.01 x 48.3 x 61.0 cm) 15.75 x 19 x 24 in (40.01 x 48.3 x 61.0 cm) 26.25 x 19 x 24 in (65.5 x 48.3 x 61.0 cm) 62.5 x 48 x 31.5 (158.8 x 121.9 x 80.0 cm)			3U 6U 6U 6U 6U 9U 22U CAB	74lbs (33.60 kg) 94 lbs (42.64 kg) 114 lbs (51.71kg) 114 lbs (51.71kg) 197 lbs (89.36kg) 197 lbs (89.36kg) 370lbs (168.00 kg) 1620 lbs (729.9 kg)






Programming Levels and Accuracy of Full Scale可編程電壓和滿刻度精度
Accuracy or Level精度值			Voltage Set Point電壓設置點	Current Set Point電流設置點	OVT Set Point過壓點			OCT Set Point過流點

Remote Analog Programming Accuracy遠程模擬可編程精度			± 0.075%	± 0.075%	± 0.075%			± 0.075%

Digital Programming Accuracy數字可編程精度			± 0.075%	± 0.075%	± 0.075%			± 0.075%

Remote Analog Programming Levels遠程模擬可編程電壓值			0 - 10.0 V	0 - 10.0 V	0 – 10.0 V			0 - 10.0 V

Monitoring Levels and Accuracy of Full Scale 監控電壓和滿刻度精度
Levels and Accuracy 電壓和精度					Output Voltage			Output Current
Remote Analog Monitoring Accuracy 遠程模擬監控精度					± 0.2%			± 0.2%
Digital Monitoring Accuracy 數字監控精度					± 0.2%			± 0.2%
Remote Analog Monitoring Levels 遠程模擬監控值					0 - 10.0 V			0 - 10.0 V

Applications

Applications Direction 應用技術指南

電機及機車驅動模擬單向或雙向測試應用于0-2000KW+汽車電機驅動試驗認證測試

其堅實的可饋電壓、電流微處理技術，控制響應帶寬，覆蓋商用、電力、民用等領域的模擬動力電池，為電機控制器提供高性能穩定的電源。可以支持電機的各種轉矩工況測試，以及制動工況，高速極限測試。系統采用可回饋設計，模擬動力電池輸入對電動汽車電機控制器的輸入功率、輸出電流、過載能力、耐壓及電機的效率、堵轉電流、最高轉速、超速、饋電等性能進行模擬實驗。能實時將電機超速實驗中的反電動勢的能量回饋電網，避免控制器損壞GB/T18488.1-2015標準中對電機及其控制器試驗,當進行電機制動工況測試，能量可以以很高的功率因數，以及很低的諧波水平，回饋到電網電池測試功能；國際標準矩形或雙向及四象限電源功率運行曲線區域，模擬鉛酸電池，磷酸鐵鋰電池，鈷酸鋰電池，鉛碳電池，氫能電池，電池串并充放電特性和SOC指標和內阻變化符合全功率連續功率標準要求；

太陽能電池矩陣模擬-應用于0-2000KW+太陽能逆變器試驗和認證測試

其堅實的可饋電壓、電流微處理技術，控制響應帶寬，覆蓋商用、電力、民用等領域的太陽能逆變器測試0.5-5Hz的低帶寬應用；高速HS低于4ms；負載響應低于2ms；可回饋電網的節能設計；符合EN50530歐標認證預測試的模擬軟件PPPE，兼容手動自定義標準的太陽能電池矩陣模擬功能；連續模擬更多組不同定義的太陽能電池測試功能；國際標準矩形V-I功率運行曲線區域，符合全功率連續功率標準要求；

AC/DC、DC/DC或DC/AC電力電子系統的電網回饋節能&試驗

適用MT高速響應的電能回饋電網技術，適合用于寬輸入電壓、頻率范圍:從 380 Vac 到 480 Vac 頻率50 Hz 和 60 Hz，高精度的可編程和監測I/O標準通訊接口37針電路標準的光隔離的用戶I / O界面，無需額外的隔離電路，電能可回饋電網功能選件HN（Power Cycle AC Grid），自動諧波消除平衡系統，產生12、18、24、48（6n±1）個脈沖波形配置。特別應用電力電子系統的電網回饋節能與試驗。更好的滿足IEEE519定義的指令限值。

汽車系統模擬-應用于0-4000V汽車動力不同電子及電機逆變器模擬試驗

汽車控制器，脈沖調變模擬，點火裝置高壓模擬，汽車電機模擬中，其高速的響應，負載能力，控制技術，符合全功率連續功率標準完全實現了汽車電器領域的0-4000V、6000A不同應用的測試。

電池充電應用

在D1（Diode）的應用及REM配合應用補償D1體電壓下降，防止電池回充電流和控制，在CC模式充電完成后，進行勻充電和浮充電時可自動化的進行切換CV模式。燃料電池模擬-應用于0-2000KW+燃料動力電池不同充電模擬試驗；鉛酸電池及鋰電池充放電-應用于電化成老化節能回饋充放電溫度補償試驗；電力電子電容器充放電-應用于電化成老化節能回饋充放電溫度補償試驗

電源仿真模擬

電源依隨I-V曲線編程使用EW遠程軟件及PPPE或從模塊化面板（Modulation Panel）可舒適的調變電源參數輕松編程模擬電源真實的變換條件，Labview 具有美國國家儀器（NI）公司認證的驅動（Labview driver），或通過其他編程方式諸如SCPI指令進行編程。廣泛應用于AC/DC、DC/DC或DC/AC電源研發試驗、AC/DC、DC/DC或DC/AC電源的電網回饋節能試驗、AC/DC、DC/DC或DC/AC電源充放電-應用于老化節能回饋充放電溫度補償試驗

水電解處理、電鍍和化學處理電源-應用于電化成節能回饋電鍍電溫度補償試驗

低紋波、高電壓范圍、高功率良好控制在電解離子化成試驗（EDI），如制造氫氣等離子時其高速的響應，高效率，先進的自動化診斷功能幫助在研究，制造氫氣等化學處理過程完美而安全的完成。低紋波、高電壓范圍、高功率良好控制在電解離子化成試驗（EDI），如制造氫氣等離子時其高速的響應，高效率，先進的自動化診斷功能幫助在研究，制造氫氣等化學處理過程完美而安全的完成。產品用在半導體、平板顯示器、數據儲存產品、太陽能電池、建筑玻璃和其他先進產品應用等制程中。我們的產品提供：功率等離子控制,無可比擬的 DC 和 RF 電弧處理能力匹配技術、整合和經證實的功率傳送解決方案我們為下列流程設計了電源系統功能：

RF 清潔,金屬和電介質蝕刻(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料)

感光耐蝕膜拋光（薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED）

化學汽相沉沈積 (CVD) （光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結合）

等離子增強化學汽相沈積沉積 (PECVD)（透明導電氧化物和硅沉積）,物理汽相沈積沉積 (PVD)（光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜）,濺射沈積沉積,此外，我們提供 DC 濺射（反應濺射和金屬化濺射）、AC 雙陰極濺射和 PECVD，以及用于離子束沈積沉積、反應離子束蝕刻 (RIBE) 和等離子儀表應用的設備。