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    高頻功率放大器系列

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    ASCENT? SERIES 30、40 和 60 kW 型號產生電弧的工藝制程,它可以提供穩定功率,以獲得可重復的高質量薄膜。嚴格的質量控制過程確保可達到比較高高可靠性。Effective Arc Management System? 功能可以熄滅電弧,防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation? 技術可以平衡設定點與濺射率,即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件,易于設置和操作
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    高頻功率放大器系列


    ASCENT® SERIES 30、40 和 60 kW 型號

    產生電弧的工藝制程,它可以提供穩定功率,以獲得可重復的高質量薄膜。嚴格的質量控制過程確保可達到最高可靠性。Effective Arc Management System? 功能可以熄滅電弧,防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation? 技術可以平衡設定點與濺射率,即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件,易于設置和操作。您可以選擇主/從裝置,或利用 Arc-Sync? 技術以多個相鄰的陰極調節電源。不管您的配置如何,均可使用 Ascent 電源獲得穩定、可重復的電源。

     

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    我如何確定脈沖直流電源是否適合我的 FPD 制程? Visit our FAQ page for detail

    作為擁有36年以上歷史的直流電源產品領先企業,AE 為全球成千上萬的客戶提供服務,通過下列優勢、解決客戶復雜的工藝問題,為客戶創造價值:

    AE 的直流電源產品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射,AE電源廣泛應用于以下制造市場,包括:導體(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料),板顯示器(薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED),據存儲(光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結合),陽能光伏電池(透明導電氧化物和硅沉積),筑玻璃,進產品應用(用于光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜)

    可下載文獻

    The Art of Choosing the Right Power Supply

     

    Advanced Energy 的加速離子束源、電感耦合等離子源和大氣源技術為您的進階制程提供了成熟而現代化的設計。其成果是無縫整合、卓越的可靠性和進階功能性,推動、簡化您的制程工藝,使之更上一層樓。

    遠端遠程等離子源 (RPS)
    前極管道 PFC 治理
    Xstream®遠程等離子源

    離子源技術

     

    等離子源

     

    L前極管道 PFC 治理

     

    Xstream® 遠程等離子源

    溫度測量儀器

     

    Sekidenko OR4000T and OR4000E

     

    Sekidenko OR400T

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    ASCENT® SERIES 30、40 和 60 kW 型號

    產生電弧的工藝制程,它可以提供穩定功率,以獲得可重復的高質量薄膜。嚴格的質量控制過程確保可達到最高可靠性。Effective Arc Management System? 功能可以熄滅電弧,防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation? 技術可以平衡設定點與濺射率,即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件,易于設置和操作。您可以選擇主/從裝置,或利用 Arc-Sync? 技術以多個相鄰的陰極調節電源。不管您的配置如何,均可使用 Ascent 電源獲得穩定、可重復的電源。

     

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    作為擁有36年以上歷史的直流電源產品領先企業,AE 為全球成千上萬的客戶提供服務,通過下列優勢、解決客戶復雜的工藝問題,為客戶創造價值:

    AE 的直流電源產品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射,AE電源廣泛應用于以下制造市場,包括:導體(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料),板顯示器(薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED),據存儲(光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結合),陽能光伏電池(透明導電氧化物和硅沉積),筑玻璃,進產品應用(用于光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜)

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    Advanced Energy 的加速離子束源、電感耦合等離子源和大氣源技術為您的進階制程提供了成熟而現代化的設計。其成果是無縫整合、卓越的可靠性和進階功能性,推動、簡化您的制程工藝,使之更上一層樓。

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